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    三箱式RTO

    发布时间:2021-01-07

    三箱式RTO是第二代产品 ,用于国外的半导体工厂

     


    三箱式RTO简述

    利用蓄热材料的直接、高效换热,用于废气治理是国外上世纪九十年代才出来的新技术。我公司在消化蓄热换热原理、热力氧化炉技术基础上,开发了两厢、三厢及多厢反吹蓄热式氧化炉。这种炉型工艺先进、运行长期稳定、成本低廉,实现全自动控制。将有机废气预热至800℃以上,在氧化燃烧室升温加热至850℃,停留时间为>1.2s,使废气中的VOC氧化分解成无害的CO2和H2O;氧化时的高温气体的热量被蓄热体“贮存”起来,用于预热新进入的有机废气,从而节省升温所需要的燃料消耗,降低运行成本。


    工作原理
    待处理有机废气进入蓄热室1的陶瓷介质层,陶瓷释放热量,温度降低,而有机废气吸收热量,温度升高,废气离开蓄热室后以较高的温度进入氧化室,此时废气温度的高低取决于陶瓷体体积、废气流速和陶瓷体的几何结构。在氧化室中,有机废气再由燃烧器加热升温至设定的氧化温度,使其中的VOC成分分解成二氧化碳和水。由于废气已在蓄热室内预热,燃料耗量大为减少。氧化室有两个作用:一是保证废气能达到设定的氧化温度,二是保证有足够的停留时间使废气中VOC充分氧化。 废气在氧化室中焚烧,成为净化的高温气体后离开氧化室,进入蓄热室2(在前面的循环中已被冷却),放热降温后排出,而蓄热室2吸收大量热量后升温(用于下一个循环加热废气)。净化后的废气经烟囱排入大气,同时引小股净化空气清扫蓄热室3。排气温度比进气温度高约40℃左右。循环完成后,进气与出气阀门进行一次切换,进入下一个循环,废气由蓄热室2进入,蓄热室3排出。同时引回一部分净化气清扫蓄热室1。周而复始,连续工作。


    三箱式RTO流程图



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    性能特点
    采用蓄热式换热装置,蓄热载体与气体直接换热,炉膛辐射温压大,加热速度快;低温换热效果明显,所以换热效率特别高:大限度回收氧化产物中的湿热。热效率高,排烟温度低,节能效果明显。降低燃料消耗也就意味着减少了温室气体的排放。
    2、蓄热室内温度均匀分级增加,加强了炉内传热,换热效果更佳。
    3、扩大了高温火焰氧化区域,火焰的边界几乎扩展到炉膛的边界,从而使得炉膛温度均匀,这样一方面提高了净化效率,另一方面延长了炉膛寿命;
    4、氧化室内的温度整体升高且分布更趋均匀;炉膛温度可达800℃,气流速度小,氧化速度快,烟气再炉内高温停留时间长,有机物氧化分解完全,环保效果明显;
    5、系统采用PLC自动氧化控制,自动化程度高、运行稳定、安全可靠性高;
    6、可根据废气情况,合理设置热能回收装置,在高温氧化室接换热器、导热油炉或余热锅炉;低温烟气用来加热废气,充分利用治理废气中余热。

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